本發(fā)明提供一種用ICP?MS對液體材料進行定量檢測的方法，其特征在于，將所述液體材料不經(jīng)化學(xué)前處理而直接導(dǎo)入至位于形成等離子體火焰的中心部的等離子體焰炬，對液體材料中所含的雜質(zhì)元素或雜質(zhì)進行定量。本發(fā)明的方法無需繁瑣的化學(xué)前處理，操作簡單，并且樣品不易污染，測定結(jié)果準確、再現(xiàn)性穩(wěn)定，能夠進行連續(xù)測定從而能夠在制造工序中對液體材料進行監(jiān)測。