電渦流金屬膜厚度終點(diǎn)檢測(cè)裝置,屬于集成電路化學(xué)機(jī)械拋光工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括電渦流傳感器、導(dǎo)電滑環(huán)、導(dǎo)電定環(huán)、多頻信號(hào)發(fā)生單元、前置電路以及含有數(shù)據(jù)處理與控制程序的計(jì)算控制單元。電渦流傳感器安裝在拋光機(jī)的拋光臺(tái)內(nèi)且與工件對(duì)應(yīng)的拋光墊下方的一個(gè)階梯孔內(nèi),該電渦流傳感器包括線圈、殼體和壓緊螺母。多頻信號(hào)發(fā)生器為電渦流傳感器提供激勵(lì)信號(hào);因金屬膜厚度變化引起的電渦流傳感器的電感變化信號(hào)經(jīng)前置電路、導(dǎo)電滑環(huán)和導(dǎo)電定環(huán)輸入到計(jì)算控制單元。本發(fā)明可克服由振動(dòng)引起的提離值變化對(duì)終點(diǎn)檢測(cè)的影響,提供準(zhǔn)確的終點(diǎn)檢測(cè);同時(shí)電渦流傳感器安裝拆卸方便,且可解決因電渦流傳感器的安裝間隙所引起的拋光液的滲漏問(wèn)題。