本發(fā)明公開了用于化學氣相沉積過程的裝置和方法。一種用于化學氣相沉積過程的裝置,包括:傳感器,被配置成在所述化學氣相沉積過程中感測工藝參數;數據庫,被配置成存儲與所述化學氣相沉積過程相關的工藝參數以及對應的薄膜特性;以及處理裝置,被配置成根據薄膜特性的目標值以及數據庫中與感測的工藝參數對應的薄膜特性,確定所述化學氣相沉積過程中的所述工藝參數的調整值。
聲明:
“用于化學氣相沉積過程的裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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