一種修整組件和化學機械研磨設備，所述修整組件包括：修整盤，用于修整拋光墊的拋光面，使所述拋光墊的拋光面保持粗糙度；拋光墊修整器，具有一連接面，用于吸附所述修整盤的背面；檢測單元，包括：管道，部分所述管道位于所述拋光墊修整器內，貫穿所述拋光墊修整器，所述管道的第一端位于所述拋光墊修整器的連接面且端部通過一彈性密封層密封，當所述拋光墊修整器吸附于所述修整盤的背面時，所述彈性密封層與所述修整盤接觸，所述管道內用于盛放耐揮發(fā)的液體；液位計，設置于所述管道上，用于檢測所述管道內的液體液位。所述修整組件能夠實時偵測修整盤的掉落情況。