本實用新型公開了一種化學藥液分配系統(tǒng)，包括：儲液罐，具有回液入口和出液口；化學藥液循環(huán)管線，一端與回液入口相連，另一端與出液口相連，該化學藥液循環(huán)管線上設有循環(huán)泵；化學藥液輸出管線，一端與化學藥液循環(huán)管線相連，另一端與工藝單元相連，該化學藥液輸出管線上設有流量計及閥門元件，該流量計用于檢測工藝單元輸入端的化學藥液流量；控制器，用于控制所述循環(huán)泵的轉速。其中，當需將化學藥液輸送到所述工藝單元、且所述閥門元件切換為使所述流量計與所述工藝單元之間的傳輸路徑連通之前，所述控制器根據(jù)當前流量計檢測的化學藥液流量控制所述循環(huán)泵的轉速。本實用新型能夠在寬范圍內調節(jié)工藝單元所需的工藝流量。