本發(fā)明提供一種化學(xué)氣相沉積裝置，所述化學(xué)氣相沉積裝置包括擴(kuò)散器，用于擴(kuò)散待沉積氣體，以形成薄膜；載臺(tái)，用于放置待沉積基板，所述載臺(tái)與所述擴(kuò)散器相對(duì)設(shè)置；在所述擴(kuò)散器和所述載臺(tái)之間設(shè)置有至少一組光距離檢測組件，所述光距離檢測組件用于測量所述擴(kuò)散器和所述載臺(tái)之間的間距。本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積裝置，通過在擴(kuò)散器和載臺(tái)之間設(shè)置光距離檢測組件，該光距離檢測組件用于檢測擴(kuò)散器和所述載臺(tái)之間的間距，由于檢測過程不需要進(jìn)行降溫處理，因此提高了生產(chǎn)效率。