一種研磨墊輪廓的控制系統(tǒng),適于包括研磨墊、研磨臺(tái)、研磨頭以及調(diào)節(jié)器的一化學(xué)機(jī)械研磨裝置,其中研磨墊包含一透光區(qū)。而這種控制系統(tǒng)包括至少一光源、一檢測(cè)器以及一處理器。而光源設(shè)置于研磨臺(tái)中,且對(duì)應(yīng)于研磨墊的透光區(qū)。檢測(cè)器則位于研磨墊上方,以檢測(cè)通過(guò)研磨墊的透光區(qū)的光源所發(fā)出的光。處理器根據(jù)檢測(cè)器所檢測(cè)的結(jié)果,來(lái)估算研磨墊的厚度,以判定研磨墊的輪廓狀況,進(jìn)而發(fā)出一處理訊號(hào)至調(diào)節(jié)器,借以調(diào)整調(diào)節(jié)器的處理程序。由于本發(fā)明能在線控制研磨墊輪廓,所以可降低關(guān)于晶圓內(nèi)不均勻度的變量而獲致平坦的研磨墊輪廓。