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使用石墨烯的用于化學(xué)傳感的場效應(yīng)晶體管、使用晶體管的化學(xué)傳感器和制造晶體管的方法

1020   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:55:31
用于化學(xué)傳感的場效應(yīng)晶體管(20),包括漏極(5)和源極(6)間延伸的導(dǎo)電和化學(xué)敏感溝道(2)。柵極(7)被縫隙(10)從溝道(2)分隔,待傳感的化學(xué)物能經(jīng)其到達(dá)溝道(2),溝道包括布置在電絕緣的石墨烯層襯底(1)上的連續(xù)單晶石墨烯層(2a)。石墨烯層(2a)在源極(5)和漏極(6)之間延伸并電連接于源極和漏極。襯底支撐石墨烯層,允許其保持為2維且連續(xù),使其能設(shè)置在明確界定表面上,且作為分離的部分生產(chǎn)且添加到晶體管。這對(duì)再現(xiàn)性有益且減少在生產(chǎn)期間和之后對(duì)石墨烯層損傷的風(fēng)險(xiǎn)。也使能了在單個(gè)晶體管之間具有低變化性的低探測極限。還提供了使用晶體管(20)的化學(xué)傳感器(30)和用于提供晶體管(20)的方法。
聲明:
“使用石墨烯的用于化學(xué)傳感的場效應(yīng)晶體管、使用晶體管的化學(xué)傳感器和制造晶體管的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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