本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的安裝方法及化學(xué)氣相沉積設(shè)備,其安裝方法包括步驟:將晶舟安裝在基座上,且在所述晶舟一側(cè)設(shè)置有投影板;在所述投影板設(shè)置參照物;第一光束照射所述晶舟,使所述晶舟投影到所述投影板上形成晶舟投影;沿所述基座的中心軸旋轉(zhuǎn)所述基座,且上述晶舟和所述基座一起旋轉(zhuǎn),測(cè)量在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中所述晶舟投影與所述參照物之間的距離,當(dāng)旋轉(zhuǎn)過(guò)程中所述距離發(fā)生變化時(shí),則調(diào)整所述晶舟在所述基座上的位置,從而使得安裝時(shí)晶舟能位于反應(yīng)腔室中心。