本發(fā)明提供一種透射電鏡能譜超分辨分析方法，屬于礦產(chǎn)資源勘查、微量元素地球化學(xué)領(lǐng)域。所述方法包括如下步驟：步驟1.目標(biāo)樣品的選擇與分析。步驟2.微區(qū)微量元素組成分析樣品的準(zhǔn)備。步驟3.目標(biāo)樣品的性質(zhì)與元素組成分析。步驟4.根據(jù)需要制備透射電子顯微鏡觀察樣品。步驟5.對上一步制備樣品，放入透射電子顯微鏡進(jìn)行形貌觀察，尋找合適的分析位置。本發(fā)明能夠在納米尺度下，對樣品微量元素檢測，極大的提高了透射電鏡能譜元素分析的實(shí)際應(yīng)用檢出限，也提出了樣品中微量元素被主量元素信號干擾的解決辦法，并且，本發(fā)明也可以應(yīng)用于電子束敏感樣品的能譜分析。