本發(fā)明涉及一種高純鎢痕量元素分析用標準樣品及其制備方法，屬于高純金屬分析檢測領(lǐng)域。該標準樣品包括Al，As，B，Ba，Bi，Ca，Cd，Cu，Cr，Co，F(xiàn)e，Hf，K，Mg，Mn，Mo，Na，Ni，P，Pb，Sb，Si，Sn，Sr，Ta，Ti，Zn和Zr元素，含量均為0.1ppm～500ppm，余量為W。將原料放入蒸發(fā)攪拌器得到粗鎢酸銨晶體；氫化還原得到鎢粉；機械攪拌，球磨破碎，再次機械攪拌混合；進行雜質(zhì)元素含量檢測；壓塊，燒結(jié)；化學標準樣品成分均勻性檢查和定值。本發(fā)明方法得到的高純鎢標準樣品，形狀規(guī)則、成分均勻、穩(wěn)定性好、定值準確，可以用于高純鎢痕量元素測定結(jié)果的校正和儀器設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)控。