本發(fā)明涉及電鍍金整平性預(yù)測(cè)領(lǐng)域,公開(kāi)了預(yù)測(cè)電鍍液的電鍍均勻性的
電化學(xué)方法、篩選電鍍液的方法和應(yīng)用。電化學(xué)方法包括:在裝有電鍍液的電鍍池上施加電壓U進(jìn)行電鍍;將所述電壓U進(jìn)行變化,并測(cè)量對(duì)應(yīng)的電鍍電流強(qiáng)度I,繪制電鍍電流強(qiáng)度I對(duì)所述電壓U的變化曲線;通過(guò)所述變化曲線,計(jì)算為所述電鍍液設(shè)定的至少兩個(gè)電流密度值之間的電位差絕對(duì)值,用于預(yù)測(cè)所述電鍍液進(jìn)行電鍍制得的電鍍均勻性。由此有效判斷電鍍液的電鍍均勻性且用時(shí)短,特別是無(wú)氰鍍金液用于晶圓鍍金的電鍍均勻性。對(duì)于在電極表面吸附不具有強(qiáng)烈對(duì)流依賴性的添加劑也是有效的。
聲明:
“預(yù)測(cè)電鍍液的電鍍均勻性的電化學(xué)方法、篩選電鍍液的方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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