景泰藍結構的制造方法,其中金屬氧化物層的頂表面與基底上形成的金屬結構的頂表面共平面。至少在金屬結構的頂表面上淀積氮化物層,在金屬結構和氮化物層上淀積金屬氧化物層。然后通過使用漿料的化學機械拋光(CMP)工藝,對金屬氧化物層進行拋光,暴露金屬結構頂表面上的氮化物層。對氮化物層的拋光使氨產生于漿料中。從漿料中提取氣體的氨,根據提取氨的濃度產生信號。根據信號的變化終止CMP工藝。
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