本發(fā)明公開了一種亞常壓化學(xué)氣相沉積法設(shè)備氣化閥堵塞的檢測方法，包括如下步驟：1)記錄腔體基準(zhǔn)壓力；2)設(shè)定載氣流量為固定值，設(shè)定腔體壓力為固定值，待載氣流量穩(wěn)定后，記錄節(jié)流閥的位置A；3)將節(jié)流閥所開的位置設(shè)定在位置A上，保持載氣流量為設(shè)定的固定值，腔體壓力須在設(shè)定的固定值附近；4)分別流入TEOS液體流量，并記錄腔體壓力；5)計算各TEOS流量下腔體壓力和腔體基準(zhǔn)壓力的差值；6)繪制TEOS流量和腔體壓差的變化示意圖，正常的TEOS流量和腔體壓差變化為一條直線，由此判斷不正常情況下的氣化閥堵塞。本發(fā)明通過TEOS流量和腔體壓力差的線性關(guān)系來檢測氣化閥的狀況，可更高效及時地發(fā)現(xiàn)氣化閥堵塞問題。