本發(fā)明提供了一種采用電化學(xué)檢測(cè)裝置進(jìn)行局部區(qū)域形貌掃描的電化學(xué)檢測(cè)方法，通過三維步進(jìn)電機(jī)實(shí)現(xiàn)探針快速、長(zhǎng)距離的控制，通過壓電陶瓷傳感器實(shí)現(xiàn)短距離的精密控制，利用雙恒電位儀在測(cè)試樣品上維持恒定電位，同時(shí)在測(cè)試探針上外加交流電位信號(hào)，通過數(shù)據(jù)采集模塊獲取樣品局部區(qū)域的實(shí)部Zre、虛部-Zim、模值|Z|、相位角-Phase等電化學(xué)信號(hào)的三維空間分布的成像信息，并獲得等效電路的各元件參數(shù)信息。其克服常規(guī)掃描電化學(xué)顯微鏡存在的信號(hào)弱、獲得反饋電流密度信號(hào)難、檢測(cè)信號(hào)單一等缺點(diǎn)，可以獲得樣品表面的局部微觀阻抗分布特征，信息豐富，有利于研究解析樣品的真實(shí)特性。