本發(fā)明提供一種透射電鏡原位電化學(xué)檢測芯片，包括上片和下片。所述上片和下片由兩面帶有絕緣層或氮化硅層的硅基片制成。所述上片設(shè)有兩個對稱的注液口和一個電子束視窗；所述上片的硅基片一面設(shè)置有金屬鍵合層。所述下片的硅基片一面設(shè)置有參比電極、工作電極和對電極三電極體系；所述下片中心位置設(shè)置有觀察視窗；所述上片和所述下片通過金屬鍵合層粘接。本發(fā)明提供一種透射電鏡原位電化學(xué)檢測芯片的制作方法，制成的原位電化學(xué)檢測芯片具有三電極和絕緣層，可實現(xiàn)通電條件下對樣品進行檢測，電場均勻，且安全性高、可控性強，同時以氮化硅層為支持層，有效提高成像分辨率，降低背景噪音。