一種降低化學(xué)機械拋光工藝熱點檢測漏報率的方法，包括：第一步驟：執(zhí)行版圖載入；第二步驟：選定格點大小，根據(jù)設(shè)置的起始點移動步長，并計算兩個垂直移動方向上的單方向移動次數(shù)；第三步驟：將版圖切割起始點(X, Y)按照{(diào)(X?m*s), (Y?n*s)}進行移動，其中s為起始點移動步長，m和n為整數(shù)且初值均為所述單方向移動次數(shù)；第四步驟：執(zhí)行格點幾何信息提??；第五步驟：執(zhí)行化學(xué)機械拋光工藝模擬預(yù)測；第六步驟：執(zhí)行熱點檢測；第七步驟：使得n遞增1，在遞增1之后的n小于單方向移動次數(shù)時，重復(fù)第三步驟到第六步驟，或使得m遞增1，在遞增1之后的m小于單方向移動次數(shù)時，使得n遞增1，當(dāng)遞增1后的n也小于單方向移動次數(shù)時，重復(fù)第三步驟到第六步驟。