一個偵測研磨步驟終點的系統(tǒng)與方法。一般而言,一個電源供應器乃提供給一個電解研磨系統(tǒng),此電源供應器經(jīng)由一電解溶液傳輸一電流。監(jiān)控由電源供應器所提供信號的信號特征,以決定一個研磨終點。需說明的是,此監(jiān)控的信號特征包含電流與電壓。在其它實施例中,電流與移除物質有相關性,此時在過程中乃監(jiān)控電流以決定移除物質總量。
聲明:
“電化學機械研磨控制工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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