本發(fā)明用基于納米結(jié)構(gòu)的光譜檢測(cè)方法檢測(cè)化學(xué)物和生化物雜質(zhì),特別是公開了一種為工業(yè)生產(chǎn)過程提供質(zhì)量保證的方法。該方法包括從工業(yè)生產(chǎn)過程中獲得一制造材料,讓該制造材料與納米表面接觸,使得有害物質(zhì)吸附到該納米表面上。該方法還包括利用一光譜儀從該制造材料和該納米表面獲得一拉曼光譜,利用一光譜分析系統(tǒng)查找有害物質(zhì)在拉曼光譜中預(yù)定光譜范圍內(nèi)的光譜信號(hào),如果在拉曼光譜中存在該光譜信號(hào),則檢測(cè)該制造材料中有害物質(zhì)的濃度,如果該濃度超出一預(yù)定的允許限度,那么將該制造材料從該工業(yè)生產(chǎn)過程中排除。