本發(fā)明公開了一種利用反應(yīng)精餾生產(chǎn)硅烷及三氯氫硅的方法，包括在反應(yīng)精餾裝置中通過氯硅烷歧化或反歧化制備硅烷或三氯氫硅的步驟，其特征在于所述歧化或反歧化反應(yīng)采用脂肪胺和芳香胺混合的液體催化劑。采用本發(fā)明的方法，液體催化劑無需預(yù)處理，且催化劑置換方便，也不會對后續(xù)系統(tǒng)造成堵塞，失效后的催化劑回收簡單，無液體廢棄物或固體廢棄物產(chǎn)生，清潔環(huán)保；催化歧化或反歧化的轉(zhuǎn)化率高，生產(chǎn)過程易操作。