本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，硅片切割廢砂漿先添加降黏劑，進行固液分離得到一級懸浮液和一級固體顆粒，一級固體顆粒再添加降黏劑進行二級固液分離，進一步除去固體顆粒中的切割液成分，得到二級固體顆粒，二級固體顆粒加水然后依次進行超聲清洗、旋流分離，旋流分離得到硅粉懸浮液和碳化硅懸浮液，碳化硅懸浮液依次進行離心分離、堿反應清洗、離心分離、離心水洗、干燥和干法分級，最后得到可循環(huán)使用的碳化硅產品。旋流分離得到硅粉懸浮液經過板框過濾得到硅粉固體顆粒和水，水返回二級固體顆粒使用。二級固液分離得到的懸浮液返回到一級固液分離作為降黏劑使用。