本實(shí)用新型公開了一種含有四甲基氫氧化銨的廢水處理系統(tǒng)，包括酸堿調(diào)節(jié)單元、高級氧化處理單元和Bardenpho處理系統(tǒng)；高級氧化處理單元為VUV反應(yīng)器，內(nèi)部設(shè)置真空紫外線燈管，向反應(yīng)器前的管道內(nèi)投加氧化劑，紫外線活化氧化劑產(chǎn)生自由基，對廢水中的四甲基氫氧化銨進(jìn)行降解；Bardenpho處理系統(tǒng)對高級氧化處理單元的出水進(jìn)行生化需氧量去除和生物脫氮處理。本實(shí)用新型系統(tǒng)的高級氧化處理單元中，真空紫外線同時(shí)輻照過二硫酸鹽和過氧乙酸能產(chǎn)生協(xié)同作用，對四甲基氫氧化銨具有更高的氧化效率，能夠完全降解廢水中的四甲基氫氧化銨。該處理系統(tǒng)出水化學(xué)需氧量和氨氮指標(biāo)優(yōu)于國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)。