本發(fā)明公開了一種工業(yè)有機(jī)廢氣處理清潔工藝。該工藝包括吸附、脫附和脫附蒸汽處理三部分，其中脫附蒸汽流股作為熱媒，通過(guò)蒸發(fā)器的夾套或盤管，形成冷凝液，與補(bǔ)充工業(yè)軟水混合后，通過(guò)一冷器和二冷器進(jìn)一步冷卻、降溫后，排入油水分離器分離。氣體有機(jī)物隨不凝氣匯入工業(yè)有機(jī)廢氣處理；接近溶解度平衡的液體有機(jī)物和水經(jīng)靜置、分層，上層有機(jī)相作為混合有機(jī)溶劑回收；下層蒸汽冷凝水作為循環(huán)水，經(jīng)涼水泵升壓，送入蒸發(fā)器蒸發(fā)，產(chǎn)生循環(huán)蒸汽送到汽包緩沖，再經(jīng)蒸汽過(guò)熱器調(diào)溫調(diào)壓，代替工業(yè)蒸汽用于活性炭脫附過(guò)程。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)脫附蒸汽冷凝水循環(huán)利用，無(wú)廢水排放，同時(shí)提高過(guò)程熱能利用率，滿足節(jié)能減排和清潔生產(chǎn)要求。