本發(fā)明涉及一種硅微納米結(jié)構(gòu)的制備方法，屬于新材料與納米材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明利用碳與硅在氫氟酸溶液中構(gòu)成腐蝕原電池，發(fā)明了一種新穎的硅微納米結(jié)構(gòu)制備方法。所述方法將表面沉積有石墨粉等碳材料的硅樣品浸入含有氧化劑的氫氟酸溶液或蒸汽中進(jìn)行腐蝕處理，可以實現(xiàn)多種形貌硅微納米結(jié)構(gòu)的制備。本制備方法簡單，不涉及復(fù)雜設(shè)備，也不需要金或銀等貴金屬催化劑就能制備出硅微納米結(jié)構(gòu)，宜于規(guī)?；I(yè)生產(chǎn)。本發(fā)明制備的硅微納米結(jié)構(gòu)在光伏電池、光催化、鋰離子電池、傳感等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。