本發(fā)明公開的利用原子層沉積裝置制備氟化石墨烯的方法，主要包括將石墨烯通過轉(zhuǎn)移基底放置在原子層沉積裝置的支撐架上，利用玻璃金屬轉(zhuǎn)換件內(nèi)氟化劑的蒸發(fā)進入原子層沉積裝置的腔體，并使得石墨烯吸附氟原子，實現(xiàn)氟化石墨烯的可控制備。該方法工藝流程完全可控，操作簡單方便，特別適合于氟化石墨烯的大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，制備的氟化石墨烯在納米電子器件、潤滑材料、大容量鋰電池等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。