本發(fā)明公開(kāi)了一種基于級(jí)聯(lián)雙環(huán)諧振腔游標(biāo)效應(yīng)的光學(xué)加速度計(jì)芯片。包括寬譜光源、模斑轉(zhuǎn)換器、光隔離器、敏感單元、上電極、下電極、F?P腔、第一Y波導(dǎo)、第二Y波導(dǎo)、2:1型Y波導(dǎo)、第一光功率計(jì)、第二光功率計(jì)、解調(diào)反饋電路、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅氧化層、硅襯底、封裝外殼。本發(fā)明具有兩個(gè)獨(dú)立的光學(xué)諧振腔：施加x向加速度，第一環(huán)形波導(dǎo)與橢圓盤(pán)間距改變，造成諧振波長(zhǎng)的偏移，可以同時(shí)獲得加速度的大小與方向；兩個(gè)諧振腔的半徑有微小差異，利用光學(xué)諧振腔輸出光干涉產(chǎn)生的游標(biāo)效應(yīng)可以放大第一環(huán)形波導(dǎo)諧振波長(zhǎng)的頻移信號(hào)。本發(fā)明體積小、精度高、制造工藝簡(jiǎn)單，抗電磁干擾，有較高的可靠性。