一種LI摻雜ZNO陶瓷靶材制備工藝,屬于陶瓷靶材制備技術(shù)領(lǐng)域。工藝為:將硝酸鋅、硝酸鋰、尿素和甘氨酸混合均勻后放入燒杯中,注入去離子水并攪拌至原料全部溶解,將溶液加熱轉(zhuǎn)入蒸發(fā)皿直至燃燒反應(yīng)發(fā)生,合成LI摻雜的ZNO粉體。將該粉體研磨,然后裝入放電等離子燒結(jié)爐中燒結(jié),所得產(chǎn)品為L(zhǎng)I摻雜ZNO陶瓷靶材。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:原料便宜易得,工藝周期短,所得的靶材純度高,摻雜均勻,在LI元素在ZNO晶格中的位置為替代ZN的位置,實(shí)現(xiàn)ZNO的受主摻雜,利用該陶瓷靶有益于LI摻雜P型ZNO薄膜的制備。