光波導(dǎo)器件。一種光波導(dǎo)器件,該光波導(dǎo)器件包括:中間層、包括X?切割鈮酸鋰的薄膜LN層和緩沖層,該中間層、包括X?切割鈮酸鋰的該薄膜LN層和該緩沖層層疊在基板上;光波導(dǎo),該光波導(dǎo)形成在所述薄膜LN層中;以及電極,該電極用于驅(qū)動。所述中間層由上部的第一中間層和下部的第二中間層形成,所述第二中間層的介電常數(shù)小于所述第一中間層的介電常數(shù)。
聲明:
“光波導(dǎo)器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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