本發(fā)明屬于鋰離子電池領(lǐng)域，涉及到一種添加緩沖層的新型薄膜固態(tài)電解質(zhì)的制備方法。其特征是在LiPON薄膜表面添加緩沖層來改善LiPON薄膜的界面性能。LiPON薄膜的制備是利用磁控濺射設(shè)備，靶材選擇為Li3PO4(純度為99.9％)靶材；打開磁控濺射設(shè)備，安裝靶材與基片，關(guān)閉濺射室，將其抽至7×10?4Pa的高真空，然后通入氮氣，工作壓強(qiáng)調(diào)整為1.5Pa，濺射功率設(shè)置為180W，濺射時間為10h。LiSiPON緩沖層的制備是選擇Li3PO4?Li3SiO3(純度為99.9％)靶材，將濺射室抽至7×10?4Pa的高真空，然后通入工作氣體，工作壓強(qiáng)調(diào)整為1.5Pa，濺射功率設(shè)置為180W，濺射時間為1h。本發(fā)明可以改善LiPON固態(tài)電解質(zhì)的水解還原問題，得到具有穩(wěn)定界面結(jié)構(gòu)的固態(tài)薄膜電解質(zhì)。