本發(fā)明涉及一種薄膜電解質(zhì)及其制備方法,是通過(guò)磁控濺射法制備具有NASICON結(jié)構(gòu)的鋰薄膜電解質(zhì),其具有較高的離子電導(dǎo)率、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、較寬的電化學(xué)穩(wěn)定窗口、優(yōu)良的機(jī)械性能及寬的應(yīng)用溫度范圍。通過(guò)摻雜元素種類及比例的變化,得到不同性能的薄膜電解質(zhì),并通過(guò)濺射過(guò)程中氮?dú)獾囊?進(jìn)一步改善了薄膜的性能。該薄膜電解質(zhì)在薄膜鋰電池、薄膜超級(jí)電容器、電致色變器件、傳感器或其他新型電化學(xué)器件領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。