本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)腐蝕性的LiF清洗劑，該清洗劑是由無(wú)機(jī)堿、螯合劑、有機(jī)助劑、表面活性劑及高純水組成。本發(fā)明通過(guò)特定的乙二醇基曼尼希堿表面活性劑與無(wú)機(jī)強(qiáng)堿混配，能提高對(duì)鋰鹽的溶解度，有效解決現(xiàn)有OLED掩膜版及坩堝清洗效率低、對(duì)鋰鹽溶解性差及易造成腐蝕等問(wèn)題，且其易清洗無(wú)殘留，具有良好應(yīng)用前景。