本發(fā)明公開了一種新型聲表面波傳感器,采用鉭酸鋰材料制成聲表面波傳感器,產(chǎn)生水平剪切波;在聲表面波傳感器的壓電基板上安裝叉指式換能器電極,并在聲表面波傳感器表面鍍一層與波傳播方向垂直的二氧化硅脊陣列,所述叉指式換能器電極、二氧化硅脊陣列間隔設(shè)置。本發(fā)明利用了鉭酸鋰產(chǎn)生的水平剪切波的特點(diǎn),利用在發(fā)射端和接收端叉指電極之間的感應(yīng)區(qū)增加協(xié)助其振動(dòng)的二氧化硅陣列,減少該波在傳播過程中在垂直方向上的損耗,并利用其共振效應(yīng)使得聲表面波在傳播時(shí)集中在表面,減少垂直方向上傳播的損耗,提升壓電介質(zhì)的應(yīng)變產(chǎn)生電位移,進(jìn)而改善其性能。
聲明:
“新型聲表面波傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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