本發(fā)明提供了一種基于多材料體系的光電單片集成系統(tǒng)，該系統(tǒng)磷化銦?硅激光器、硅無源光子器件、氮化硅無源光子器件、氮化硅?鈮酸鋰電光調(diào)制器、鍺?硅探測(cè)器和電子電路集成在同一襯底上，用于減少了光電系統(tǒng)的尺寸，減少電、光互聯(lián)距離，從而極大的減少寄生參數(shù)對(duì)集成系統(tǒng)的不利的影響；避免了光路模塊和電路模塊間的封裝，降低了封裝成本。發(fā)揮鈮酸鋰材料優(yōu)異的電光性能、氮化硅材料低損耗、低偏振敏感度、高工藝容忍度與硅材料高折射率的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)性能優(yōu)異的單片光電集成系統(tǒng)。