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表面聲波器件及其制造方法

800   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:24:44
表面聲波器件及其制造方法,一種表面聲波器件,其包括:壓電基板,該壓電基板在一個(gè)表面上形成有兩個(gè)或更多個(gè)諧振器;支撐基板,該支撐基板與該壓電基板的另一表面接合。在該表面聲波器件中,該多個(gè)諧振器中的至少兩個(gè)具有在表面聲波傳播方向上彼此交疊的激勵(lì)部分,并且去除或改良具有多個(gè)交疊部分的多個(gè)諧振器中的至少一對(duì)交疊的諧振器之間的該壓電基板的至少一部分,以具有不同的特性。
聲明:
“表面聲波器件及其制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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