本發(fā)明提供了一種片上調(diào)制的集成光學(xué)諧振腔，應(yīng)用多層波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)集成光學(xué)諧振腔的有源無源器件的高度集成化設(shè)計。本發(fā)明的集成光學(xué)諧振腔為集成的上下兩層結(jié)構(gòu)，在下層的波導(dǎo)基底上制備諧振腔和傳輸波導(dǎo)，鈮酸鋰波導(dǎo)調(diào)制器制作在諧振腔上層，鈮酸鋰波導(dǎo)調(diào)制器通過在鈮酸鋰波導(dǎo)兩側(cè)施加電場，改變波導(dǎo)的等效折射率，實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)中光相位延遲量的調(diào)制。鈮酸鋰波導(dǎo)與位于下層的諧振腔或傳輸波導(dǎo)之間制備有跨層耦合器。本發(fā)明去除了外部調(diào)制器與諧振腔的光纖耦合結(jié)構(gòu)，采用調(diào)制器與諧振腔的垂直直接耦合，可減小入腔光偏振消光比的衰減，以保持更高的入腔偏振消光比，簡化了系統(tǒng)模型，提高了系統(tǒng)集成化程度，增強(qiáng)了系統(tǒng)可靠性。