本發(fā)明公開了屬于MEMS技術(shù)領(lǐng)域的一種混合式微型超級電容器及其制造方法。該微型超級電容器由支撐體、正極、隔離體、負(fù)極以及鋁封蓋構(gòu)成,呈卷繞結(jié)構(gòu),在正極、隔離體、負(fù)極結(jié)構(gòu)中浸漬高氯酸鋰有機(jī)電解液;正極包含活性碳儲能材料、乙炔黑導(dǎo)電材料以及聚偏氟乙烯粘合劑,采用絲網(wǎng)印刷方法制備;負(fù)極包含鈦酸鋰儲能材料、乙炔黑以及聚偏氟乙烯粘合劑,采用絲網(wǎng)印刷方法制備。隔離體為為聚偏氟乙烯-六氟丙烯多孔結(jié)構(gòu)的共聚物,采用甩涂方法制備。在正極及負(fù)極端采用磁控濺射方法制備鋁封蓋,位于同時(shí)作為電極端子起到集流體的作用。鋁封蓋與電極的大面積接觸可有效降低微型超級電容器電阻,進(jìn)而能夠提高微型超級電容器儲能特性;本發(fā)明能夠提高微型超級電容器電壓至3.6V。