本發(fā)明在支撐基板與由選自由鈮酸鋰等構(gòu)成的組中的材質(zhì)形成的壓電性材料基板的接合體中,使接合體的接合強(qiáng)度提高。接合體7、7A具備:支撐基板4;壓電性材料基板1、1A,它們由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰以及鈮酸鋰-鉭酸鋰構(gòu)成的組中的材質(zhì)形成;以及非晶質(zhì)層5,其存在于支撐基板4與壓電性材料基板1、1A之間。非晶質(zhì)層5包含選自由鈮和鉭構(gòu)成的組中的一種以上金屬原子、構(gòu)成支撐基板的原子以及氧原子。非晶質(zhì)層5中的所述金屬原子的濃度高于氧原子的濃度,且為20~65原子%。
聲明:
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