本發(fā)明公開了一種非水電解質(zhì)二次電池負極材料用硅氧化物，其是通過使SiO氣體和含鋰氣體共同沉積而獲得的含鋰硅氧化物，且所述含鋰硅氧化物的含鋰量為0.1?20％。本發(fā)明含鋰硅氧化物性能優(yōu)異，可提高非水電解質(zhì)二次電池的性能，體積膨脹較小、循環(huán)性能較為優(yōu)良，還具有高首次庫倫效率、高容量的優(yōu)異性能。本發(fā)明原料易得，成本低廉，可廣泛應(yīng)用于工業(yè)化生產(chǎn)。