本發(fā)明涉及一種光調(diào)制器用接合體、光調(diào)制器及光調(diào)制器用接合體的制造方法。在將由鈮酸鋰等形成的光波導(dǎo)用材料與支撐基板接合而成的光調(diào)制器用接合體及光調(diào)制器中，抑制光波導(dǎo)用材料因退火處理而開裂，并且，改善光調(diào)制器對頻率的光響應(yīng)特性。光調(diào)制器用接合體(6)具備支撐基板(4)；光波導(dǎo)用材料(7)，其由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰及鈮酸鋰－鉭酸鋰構(gòu)成的組中的材質(zhì)形成，并設(shè)置于支撐基板(4)上；以及光波導(dǎo)(8)，其存在于光波導(dǎo)材料(7)。支撐基板(4)由選自由氧化鎂及鎂－硅復(fù)合氧化物構(gòu)成的組中的材質(zhì)形成。