一種產(chǎn)生遠(yuǎn)紫外輻射的方法,其中輻射介質(zhì)是對基本材料進(jìn)行處理產(chǎn)生的等離子體,輻射介質(zhì)的基本材料配置包括金屬鋰(Li)、銦(In)、錫(Sn)、銻(Sb)、碲(Te)、鋁(Al)的鹵化物中至少一種,和/或鹵素,和/或惰性氣體,以鋰(Li)和氯(Cl)以及鋰和氟(F)為基礎(chǔ)的鹵化物除外。
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