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彈性波裝置及其制造方法

1110   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:05:34
本發(fā)明提供一種不僅可以實(shí)現(xiàn)高聲速化,還不容易受到由成為亂真的其他模式而引起的響應(yīng)的影響的彈性波裝置。一種彈性波裝置(1),其具有鈮酸鋰膜(5),并利用SH型表面波,具備:支撐基板(2);高聲速膜(3),其形成在所述支撐基板(2)上,傳播的體波聲速比在所述鈮酸鋰膜(5)中傳播的彈性波聲速更高速;低聲速膜(4),其層疊在所述高聲速膜(3)上,傳播的體波聲速比在所述鈮酸鋰膜(5)中傳播的體波聲速更低速;所述鈮酸鋰膜(5),其層疊在所述低聲速膜(4)上;和IDT電極(6),其形成在所述鈮酸鋰膜(5)的一面,在將鈮酸鋰膜(5)的歐拉角設(shè)為(0°±5°,θ,0°)時(shí),θ處于0°~8°以及57°~180°的范圍內(nèi)。
聲明:
“彈性波裝置及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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