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靜態(tài)工作點溫度穩(wěn)定的共路干涉電場傳感器

639   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:02:48
本發(fā)明涉及一種靜態(tài)工作點溫度穩(wěn)定的共路干涉電場傳感器,屬于光學電場測量技術(shù)領(lǐng)域。所述傳感器包括鈮酸鋰晶體、鈦擴散鈮酸鋰波導(dǎo)、電極和天線,以所述鈦擴散鈮酸鋰波導(dǎo)的傳播方向為z軸,將二氧化鈦作為磁控濺射靶,在所述鈦擴散鈮酸鋰波導(dǎo)的上表面進行磁控濺射,磁控濺射的壓強為2.5~5毫托,磁控濺射時間為2~16.5小時,在鈦擴散鈮酸鋰波導(dǎo)的上表面得到二氧化鈦薄膜。本發(fā)明所述傳感器,在鈮酸鋰波導(dǎo)上鍍了一層二氧化鈦薄膜,在不影響已有傳感器原有測量靈敏度和準確性的基礎(chǔ)上,對鈮酸鋰波導(dǎo)的正溫度系數(shù)進行了補償,從而大大提升了傳感器靜態(tài)工作點的溫度穩(wěn)定性。
聲明:
“靜態(tài)工作點溫度穩(wěn)定的共路干涉電場傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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