公開了聲波諧振器器件、濾波器和方法。聲波諧振器包括基板和具有正面和背面以及厚度ts的鈮酸鋰(LN)板。背面附接到基板的表面。LN板的一部分形成跨過基板中的空腔的隔膜。叉指換能器(IDT)在LN板的正面形成，其中IDT的交錯的指狀物設置在隔膜上。LN板和IDT被配置成使得施加到IDT的射頻信號激發(fā)隔膜中的剪切主聲波。LN板的歐拉角為[0°，β，0°]，其中0<β<60°。IDT的交錯的指狀物的厚度大于或等于0.8ts且小于或等于2.0ts。