本發(fā)明提供了一種用于鉭酸鋰晶片表面清洗的清洗劑及其制備方法與用途，所述清洗劑包含納米膠體粒子，還涉及所述納米膠體粒子的制備方法及制備方法和用途，所述納米膠體粒子包括納米二氧化硅、陽離子型膠體穩(wěn)定劑和二氧化硅吸附劑，所述清洗劑包括所述納米膠體粒子、pH調(diào)節(jié)劑、表面活性劑、潤(rùn)濕劑和超純水。所述納米膠體粒子具有優(yōu)異的穩(wěn)定性、顆粒清洗和抗顆粒再沉積效果，且能杜絕破片的發(fā)生，特別適用于軟脆材料表面尤其是鉭酸鋰晶片的清洗中，具有廣闊的應(yīng)用前景和工業(yè)化使用價(jià)值。