本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰電光器件厚膜導(dǎo)線電極的制作方法,包括以下步驟:S1:在帶有質(zhì)子交換波導(dǎo)的鈮酸鋰基片上鍍金屬種子層,獲得金屬化基片,所述金屬種子層分為兩層,下層為粘附力增強(qiáng)層,上層為純度不低于99.99%的金層;S2:在金屬化基片上旋涂光刻膠,經(jīng)烘烤、曝光、顯影,獲得形如電極的光刻膠圖案;S3:將帶有光刻膠的金屬化基片浸沒于金電鍍液中電鍍;S4:使用去膠液去除光刻膠,形成隆起的電極圖案;S5:先去除金屬種子層的金層,再去除粘附層,完成厚膜導(dǎo)線電極的制備。本發(fā)明既克服了厚膜電極應(yīng)力過大的問題,又解決了貴金屬的大量浪費問題。
聲明:
“鈮酸鋰電光器件厚膜導(dǎo)線電極的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)