提供一種可測(cè)量水下橫流的柔性壓力傳感器,其玻璃基片上設(shè)置有至少1片柔性壓力傳感
芯片;柔性壓力傳感芯片由PDMS與導(dǎo)電
石墨烯復(fù)合材料澆鑄而成,石墨烯以導(dǎo)電納米顆?;旌先隤DMS中;柔性壓力傳感芯片的柔性基片上面設(shè)置由多片凸筋排列形成的凸筋陳列,每片凸筋呈不對(duì)稱的形狀;凸筋陳列的兩側(cè)分別設(shè)置有導(dǎo)電Ag工作電極塊及其引出線;本發(fā)明利用柔性導(dǎo)電料受壓變形會(huì)引起電阻值變化的原理;采用MEMS加工技術(shù),用硅基片制成凸模具,利用凸模具澆筑成凹模具,石墨烯和PDMS混合物在凹模具中澆筑成型,后磁控濺射形成導(dǎo)電Ag工作電極塊得到柔性壓力傳感芯片;使用前先進(jìn)行標(biāo)定,獲得標(biāo)定函數(shù)關(guān)系后,就可以在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。
聲明:
“可測(cè)量水下橫流的柔性壓力傳感器及其制作與測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)