本發(fā)明提供一種能夠減少加工中的擦傷等的產(chǎn)生、耐久性良好的用于磁盤用基板的加工的托盤。本發(fā)明的托盤是如下的托盤,其在將定盤的加工面按壓在圓板狀的基板的主表面上,并且使定盤的加工面與所述基板相對地移動而加工該基板的主表面時用于水平地保持該基板。該托盤使用包含玻璃纖維和樹脂材料的
復(fù)合材料而形成,且具有保持上述圓板狀的基板的保持孔,該保持孔的內(nèi)周壁面具有在托盤的面內(nèi)方向上延伸且不存在玻璃纖維的多個凹部,在該多個凹部中填充有樹脂。
聲明:
“托盤、磁盤用基板的制造方法以及磁盤的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)