本發(fā)明屬于導(dǎo)體表面電場(chǎng)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種利用電致發(fā)光材料監(jiān)測(cè)導(dǎo)體表面電場(chǎng)的方法，包括：獲取ZnS:Cu/環(huán)氧樹(shù)脂復(fù)合材料；在被測(cè)導(dǎo)體上設(shè)置一層ZnS:Cu/環(huán)氧樹(shù)脂復(fù)合材料的電致發(fā)光層；實(shí)驗(yàn)測(cè)得電致發(fā)光層的電致發(fā)光強(qiáng)度，根據(jù)電致發(fā)光強(qiáng)度與電場(chǎng)強(qiáng)度的擬合曲線得到被測(cè)導(dǎo)體表面的電場(chǎng)強(qiáng)度分布情況。本發(fā)明通過(guò)旋涂技術(shù)在導(dǎo)體基材表面制備電致發(fā)光層，在不同的外加電場(chǎng)強(qiáng)度下，分別用亮度計(jì)測(cè)試其電致發(fā)光強(qiáng)度；得到電致發(fā)光強(qiáng)度與電場(chǎng)強(qiáng)度的關(guān)系后，將電致發(fā)光層置于被測(cè)導(dǎo)體表面，利用電致發(fā)光層的電致發(fā)光強(qiáng)度反映導(dǎo)體表面電場(chǎng)的分布情況，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)體表面電場(chǎng)的監(jiān)測(cè)，減小傳統(tǒng)測(cè)量方式中電場(chǎng)探頭的引入發(fā)生畸變，帶來(lái)測(cè)量誤差的問(wèn)題。