本發(fā)明公開了一種多層固體復(fù)合電介質(zhì)材料空間電荷測(cè)量方法，包括如下步驟：1)制備非對(duì)稱結(jié)構(gòu)的多層固體電介質(zhì)復(fù)合材料試樣；2)應(yīng)用電聲脈沖法測(cè)量多層固體電介質(zhì)中的空間電荷分布，獲得多層固體電介質(zhì)內(nèi)部電荷分布的未經(jīng)校正信號(hào)；3)對(duì)相對(duì)介電常數(shù)、聲速和厚度不相等引起的電荷密度值偏離進(jìn)行分層校正；4)對(duì)聲波遇到界面時(shí)發(fā)生折射引起的電荷密度偏離進(jìn)行分層校正。本發(fā)明可以有效消除多層固體復(fù)合電介質(zhì)材料界面電荷聲波反射造成的干擾，實(shí)現(xiàn)對(duì)空間電荷分布的校正，完成對(duì)多層固體電介質(zhì)復(fù)合材料內(nèi)部空間電荷真實(shí)分布的準(zhǔn)確測(cè)量。