本發(fā)明公開了銦鐵凸點復合微晶壓電盤,本發(fā)明的銦鐵凸點復合微晶壓電盤是在壓電盤零件表面設一含銦超過60%(Wt%)且含銦和鐵共超過70%(Wt%)的
復合材料層,在復合材料層表面設有許多個凸點微晶,每個凸點微晶高度大于100nm且小于500μm、直徑大于100nm且小于500μm的頂部為球狀或近似球狀、含銦超過60%(Wt%)且含銦和鐵共超過70%(Wt%),凸點微晶與復合材料層成為一體;零件表面復合材料層和基體材料成為一體;去除各小孔附著的材料層,形成銦鐵凸點復合微晶壓電盤。
聲明:
“銦鐵凸點復合微晶壓電盤” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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